Проходження іонних потоків через наноструктури. Кваліфікаційна наукова робота на правах рукопису

Abstract

В останній час розроблено нові тривимірні структури на основі іонного опромінення тонких плівок для створення біосенсорів та інших біотехнологічних застосувань. З одного боку, це досягається шляхом подальшого розвитку технології імплантації важких іонів і, з іншого боку, поєднання цієї технології з методами мікроструктурування поверхні. Дуже важливо виробляти відносно дешевий матеріал мікро - та нанометрового розміру з тривимірними наноструктурами та багатофункціональними властивостями для аналізу біоматеріалів і зокрема клітин. Recently, new three-dimensional structures based on ion irradiation have been developed for the creation of biosensors and other biotechnological applications. On the one hand, this is achieved through the further development of heavy ion implantation technology and, on the other hand, the combination of this technology with surface microstructuring methods. It is very important to produce a relatively cheap micro- and nanometer-sized material with three-dimensional nanostructures and multifunctional properties for the analysis of biomaterials and cells.